M6官网注册·芯片制程常见的金属材料及其特性

2024-09-08 11:23:51 来源:m6在线登陆 作者:M6米乐手机登录APP入口 1

  1,导电的作用。金属最大的用途就是用来导电,通过沉积的方法得到金属层,进行各部分的互连,导通电会产生热量。如果这些热量不能有效地从芯片中导出,它将导致芯片过热,常用金属作导热填充材料,填充在芯片的热通道中,帮助将热量从芯片内部传输到芯片的外部,减小潜在的应力。 3,保护的作用。金属层经常作为钝化层,覆盖在其他敏感结构之上,为其提供物理保护,防止湿气、氧气和其他可能对芯片造成腐蚀的物质对芯片的损害。

  钴 (Co) 和钴合金:硅化物形成:与硅反应形成钴硅化物。金 (Au):电镀:电镀金凸块等传感器电极:在某些MEMS或生物传感器中使用。

  银 (Ag):导电浆料:用于某些先进的封装技术。 电镀:电镀锡银合金镍 (Ni):硅化物形成:与硅反应形成镍硅化物,用于某些接触应用。 磁性金属:被广泛用于磁性应用,如磁头、磁性屏蔽和磁性核心材料。

  铂 (Pt):传感器电极:在某些高温或化学传感器中使用。 铁电随机存取存储器 (FeRAM)电极:与PZT等铁电材料配合使用。钽(Ta)金属间隔离层:由于钽的良好抗腐蚀性,它经常用作金属间隔离层,特别是在铜互连技术中。钼(Mo)常用来作为射频芯片的电极。常见金属性质: